過濾在化學機械拋光液（CMP slurry）的制取和使用過程中是*的。使用傳統(tǒng)的動態(tài)光散射粒度儀不可能檢測和定量分析過濾效果的好壞，即不能檢測出導致研磨過程中劃傷晶片的研磨液中大顆粒是否被濾除。有時過濾器的實際使用壽命會由于某種因素的影響比預期的使用壽命要縮短，而過濾器的失效會導致研磨液中的大顆粒劃傷晶片。如果沒有一種方法檢測/監(jiān)測研磨液過濾前后的尾部大顆粒，生產(chǎn)廠家就只能通過頻繁更換過濾器的方法來產(chǎn)品質(zhì)量的*，這樣做既浪費人力又浪費物力。 

關鍵詞： Nicomp380   SPOS  過濾效率  Slurry 

二、客戶現(xiàn)存問題:

     某過濾器材公司研發(fā)部一直想提升濾芯的過濾效率和判斷何時更換過濾器。但是苦于該公司的激光粒度儀在2μm處測試效果不好，到處尋找適合測試的儀器。

三、解決方案：

   PSS提供粒度分析儀NICOMP 380 和顆粒計數(shù)器AccuSizer FXnao來對過濾前后進行分析比較。

    該公司為了測試PSS儀器的性，他們將200nm標粒和500nm標?；旌线M行測試。

    采用NICOMP 380 測試粒徑分布。NICOMP多峰分布顯示有下面兩個峰值，如圖一 

圖一

采用FXnano繼續(xù)對該樣品進行顆粒計數(shù)測試分析。如圖二

圖二

FXNano給出的數(shù)據(jù)庫 Channel date：

   該數(shù)據(jù)庫很好的顯示了PSS儀器強大的計數(shù)功能和分辨率。判定在0.2μm和0.5μm處有呈現(xiàn)粒子，很直觀的給出了顆粒的分布和數(shù)量信息。

為了判別濾芯的過濾效率。測試slurry過濾前后的樣品，疊加，如圖三

圖三Slurry過濾前后對比 ，過濾前（紅色），過濾后（藍色）

四、結果：

    該公司對測試結果非常滿意， AccuSizer 系列能夠很容易地檢測和定量分析那些嚴重危害制品質(zhì)量的尾部大顆粒，從而可以測定過濾器的效率以及大顆粒的濾除率。使用AccuSizer檢測/監(jiān)測過濾效果能夠延長過濾器的實際使用壽命，從而節(jié)約生產(chǎn)成本，購買儀器的投資幾個月即可收回。

五、結論：

     NICOMP 380帶有的多峰分布，采用去卷積算法給出了多組分樣品的粒度分析。雖然激光衍射儀器有著寬廣的測試范圍和快速測試的優(yōu)勢，但是其本身原理太依賴于光學部件，在2μm處的衍射環(huán)辨析率不高。SPOS單顆粒光學傳感技術不僅給出了顆粒粒徑的分布情況，還對粒子數(shù)目有著真實的檢測計數(shù)。用來檢測過濾效率，既，又一目了然。